发行时间：2022年9月

本报告通过采集被 SCIE 和 DII 数据库平台收录的相关论文和专利信息，经人工阅读标引，形成数据集合。论文成果分析包括技术发展趋势、主要国家分布、主要发文领域、主要来源期刊、主要发文机构及其合作、主要资助机构、论文研究主题等定量分析维度，并对代表性机构的论文成果进行定性分析；专利成果分析包括申请趋势、重点国家/地区、主要申请人及专利实施情况等定量分析维度。

发行时间：2023年10月

本报告调研了薄膜传感器及其在航空领域应用的技术背景、政策环境和市场情况，结合微米纳米加工技术全国重点实验室需求，检索、分析了薄膜传感器领域截至2023年8月12 日公开的 47,490 件专利，涵盖上游工艺端（包括薄膜工艺、薄膜材料体系、图案化工艺和高温工艺）、中游产品端（薄膜压力传感器、薄膜气体传感器、薄膜温度传感器、薄膜应变传感器、薄膜多功能传感器、薄膜流量传感器和薄膜热流传感器）和下游应用端（医疗健康领域、汽车领域、可穿戴设备领域和航空航天领域）共十五个技术分支；检索、分析了航空发动机高温薄膜传感器领域截至10 月8 日公开的2,899件专利（数据来源：incoPat），涵盖上游工艺端（包括薄膜工艺、薄膜材料体系、图案化工艺和高温工艺）、中游产品端（薄膜压力传感器、薄膜气体传感器、薄膜温度传感器、薄膜应变传感器、薄膜多功能传感器、薄膜流量传感器和薄膜热流传感器）和下游应用端（航空航天领域）共十二个技术分支；同时检索、分析了薄膜传感器领域论文数据37,918篇，航空发动机高温薄膜传感器领域论文数据 2,121 篇（数据来源：Scopus）。展示了薄膜传感器领域全球专利的技术发展趋势、研发布局流向、市场竞争主体和论文研究热点；薄膜传感器领域中国专利的技术发展趋势、市场技术壁垒、创新集聚省市、市场竞争主体和专利实施情况；航空发动机高温薄膜传感器领域的技术发展趋势、研发布局流向、市场竞争主体、主要创新人才、论文研究热点、专利实施情况、领域重点专利、NASA专利布局等，以供实验室参考。在此基础上，分析比较了航空发动机高温薄膜传感器领域主要竞争主体西安交通大学、电子科技大学、中北大学、上海交通大学、中国电子科技集团公司第四十八研究所的专利表现，研究实验室与不同高校院所的表现差异，明确实验室的发展定位。

发行时间：2023年9月

近年来，薄膜传感器受到发达国家的高度关注，如美国 NASA 面向航空发动机测试应用开展了一系列基础研究和应用验证，但离工程实际应用还有一段距离，仍有许多技术问题尚待解决。薄膜传感器厚度仅为几百纳米至几十微米，有利于实现结构/感知一体化制造，对被测结构或环境无干扰，它可以直接喷涂在部件表面而不影响设备内部环境，用于测量航空发动机、燃气轮机、内燃机、石油化工设备内部高温区域部件的表面温度、应变、热流量等。

制造工艺往往影响材料的致密度、晶体结构等，使材料特性发生一定程度的变化，最终影响薄膜传感器的性能。传统制造工艺一般采用磁控溅射的方法生成薄膜传感器的各个材料层，当所需测温部件或结构为曲面时，掩模版制作则更加困难。如在航空发动机引擎运行中监测和获取叶片的实时温度，即需要在曲面叶片上制造薄膜热电偶传感器。而传统的平面光刻工艺则很难应用于柔性曲面器件。因此，研究曲面图形化转移技术并应用于制作曲面薄膜传感器，对推动航空发动机等领域的发展具有重大意义。