学会主页中国微米纳米技术学会微米纳米加工技术分会
2026微纳加工与集成技术专题分会场会议赞助方案
中国微米纳米技术学会第二十八届学术年会暨第十七届国际会议（简称CSMNT2026）定于2026年10月16‑18日在绍兴市举办。为深耕细分赛道、搭建垂直领域产学研精准对接平台，中国微米纳米技术学会微米纳米加工技术分会同步设立微纳加工与集成技术专题分会场，汇聚全国高校、科研院所、龙头企业、产业链上下游研发与采购负责人。
作为微米纳米技术领域品牌性盛会，CSMNT2026微纳加工与集成技术专题分会场打造集学术研讨、技术展示、资源对接于一体的合作共赢生态，为赞助单位量身定制多元化合作路径，从品牌展示到精准对接全程赋能。CSMNT2026微纳加工与集成技术专题分会场诚邀相关单位赞助支持大会，相聚古都绍兴，不见不散！
一、大会信息
【时间地点】2026年10月16‑18日，绍兴市
【年会官网】https://annual2026.csmnt.org.cn
【日程安排】
| 10月16日 | 注册报到、特色活动 |
| 10月17日 | 开幕式、主会场大会报告、同期展览 |
| 10月18日 | 专题分会场、特色活动、同期展览、离会 |
二、分会简介
中国微米纳米技术学会微米纳米加工技术分会（以下简称“分会”），是中国微米纳米技术学会下属专业分会，专注深耕非传统精密制造领域，是聚焦微米纳米加工方向的权威学术与技术分支。
分会依托北京大学与上海交通大学共建的微米纳米加工技术全国重点实验室这一国家级科研平台，汇聚顶尖科研力量与产业资源，以整合全国微米纳米加工领域产学研用资源为核心使命，致力于搭建学科交叉融合、产业协同创新的专属平台，打通技术研发与产业落地壁垒，助力我国微纳加工行业高质量发展。
三、【微纳加工与集成技术】专题分会场信息
| 大会名称 | 中国微米纳米技术学会第二十八届学术年会暨第十七届国际会议（CSMNT2026） |
| 承办单位 | 中国微米纳米技术学会微米纳米加工技术分会 |
| 会议主题 | 微纳加工与集成技术 |
| 时间地点 | 2026年10月18日；浙江绍兴 |
| 会议规模 | 约100人 |
| 会场主席 |
主席1：张大成，北京大学，教授 张大成，国家微机电标委会副主任委员、IEC 47F（微机电标委会）工作组专家、微电子学科发展委员会成员、中国微米纳米技术学会微米纳米加工技术分会主任委员。主要研究领域为微纳加工工艺及工艺质量评估方法、MEMS传感器芯片、工艺相关微纳结构力学特性表征方法。1996年至今，承担NSFC、973课题、863、电子预研、重大专项课题、重大科技计划等国家级科技计划中与MEMS工艺相关的项目，累计经费超过3000万元。“硅基MEMS工艺技术及应用研究”获2003北京市科技进步一等奖，2006年国家技术发明二等奖；IEC（国际电工委员会）微机电领域第一个中国提案标准的负责人，获2017年IEC 1906奖（IEC标准杰出贡献奖，当年有16个中国人获奖）。 主席2：王玮，北京大学，教授 王玮，北京大学博雅特聘教授，博导，教育部长江学者特聘教授，国家卓青，微米/纳米加工技术国家级创新团队学术带头人。长期从事微系统相关技术研究，主持国家重点研发计划等多项国家级项目，在Lab Chip、IEEE MEMS、ECTC等领域重要期刊和会议上发表学术论文190余篇，授权发明专利40余项（美国专利2项）。担任微米纳米加工技术全国重点实验室主任，中国微米纳米技术学会副秘书长，中国微米纳米技术学会微米纳米加工技术分会副主任委员，中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会、中国机械工程学会微纳制造技术分会、中国微米纳米技术学会微纳流控技术分会和微纳米制造及装备分会等学会理事，国家集成电路标准委员会委员、特种元器件标准委员会委员（微系统专项组组长），Microfluidics and Nanofluidics 副主编、Microsystems & Nanoengineering 编辑等社会和学术职务。 主席3：刘景全，上海交通大学，教授 刘景全，上海交通大学特聘教授、微米纳米加工技术全国重点实验室副主任。东方英才计划领军（原上海领军人才）、上海市优秀学术带头人、上海市曙光学者和教育部新世纪优秀人才。获教育部自然科学一等奖1项、上海市发明一等奖1项。中国微米纳米技术学会微米纳米加工技术分会副主任委员、Nano‑Micro Letters 期刊（IF：36.3）编委。主要研究兴趣包括：极端环境MEMS智能传感器与微系统、MEMS脑机接口器件以及微纳加工与集成。近5年在Science Advances, Advanced Materials, Advanced Functional Materials, Biomaterials, Small, Biosensors and Bioelectronics, Sensors and Actuators (A/B), IEEE J‑MEMS 等国际著名刊物上发表论文近60篇。主持项目包括：国家自然科学基金重点项目、国家重大专项项目、科技部2030重大项目和上海市级重大专项等。 |
| 会场报告 |
《基于激光干涉的原子级机械器件工艺质量检测方法》 《异构集成驱动下的微纳制造关键工艺与技术挑战》 《微纳加工平台及微纳加工共性技术》 《MEMS 深硅刻蚀解决方案》 《微光机电系统先进制造技术》 《基于多重曝光的环栅晶体管集成电路技术》 《微细圆柱基底表面 3D 曲面光刻技术及其应用》 《基于三维印刷集成制造的先进微纳传感技术》 《基于微纳增材制造的高性能射频器件与微系统》 《纳米干膜光刻胶与离散式光刻工艺》 《HDC纳米晶金刚石微球制备及检测技术》 《面向异构微系统制造的微转印技术进展》 《先进纳米制造的光电子集成芯片》 《柔性可拉伸电子器件集成技术》 《单原子催化活化驱动的MEMS智能电子鼻全链条集成方案》 《MEMS音叉谐振器力学性能误差片上辨识方法及修调工艺》 《立足 4 英寸工艺线的微纳加工实验教学体系构建》 |
| 参会专家与企业 |
高校与科研院所：汇聚清华大学、北京大学、上海交通大学、电子科技大学、西湖大学、湖南大学、香港科技大学（广州）、中国科学院苏州纳米所、甬江实验室、中国工程物理研究院激光聚变研究中心等国内微纳制造、MEMS器件、集成电路领域顶尖高校与科研院所的优秀专家学者。 企业与院所：集结中国航天、中国电科、中微半导体、安徽华鑫微纳等国内微电子、微纳装备、先进集成制造领域的龙头企业与科研机构行业资深技术专家及产业骨干。 |
四、赞助项目
1. 会议手册广告插页1版；
2. 免会议注册费名额2个；
3. 所在分会场报告1个（20分钟内，内容需审核）；
4. 标准展位1个；
5. 所在分会场会前及茶歇期间播放视频宣传片（时长3分钟以内，自行提供）；
6. 列入赞助单位名录，年会官网链接单位logo；
7. 学会微信公众号、分会微信公众号、分会官方网站推介软文1篇（自行提供内容）。
1. 会议手册广告插页1版；
2. 免会议注册费名额1个；
3. 分会场报告1个（10分钟内，内容需审核）；
4. 列入赞助单位名录，年会官网链接单位logo。
5. 分会微信公众号、分会官方网站推介软文1篇（自行提供内容）。
1. 标准展位1个；
2. 会议注册费名额2个（含参会证件、会议用餐）；
3. 列入赞助单位名录，年会官网链接单位logo；
4. 分会微信公众号、分会官方网站推介软文1篇（自行提供内容）。
1. 标准展位1个；
2. 会议注册费名额2个（含参会证件、会议用餐）；
3. 列入赞助单位名录，年会官网链接单位logo；
4. 学会微信公众号、分会微信公众号、分会官方网站推介软文1篇（自行提供内容）。
1. 会议手提袋中放置赞助单位宣传资料（A4以内，页数不超16P，自行设计制作）；
2. 免会议注册费名额1个；
3. 列入赞助单位名录，年会官网链接单位logo；
4. 分会微信公众号、分会官方网站推介软文1篇（自行提供内容）。
1. 年会分会场小礼品印刷赞助单位logo；
2. 免会议注册费名额1个；
3. 企业宣传页1面，入会议手提袋（自行提供素材）；
4. 列入赞助单位名录，年会官网链接单位logo；
5. 分会微信公众号、分会官方网站推介软文1篇（自行提供内容）。
未尽事项，可灵活协商，欢迎咨询、参会！