发行时间：2023年9月

近年来，薄膜传感器受到发达国家的高度关注，如美国 NASA 面向航空发动机测试应用开展了一系列基础研究和应用验证，但离工程实际应用还有一段距离，仍有许多技术问题尚待解决。薄膜传感器厚度仅为几百纳米至几十微米，有利于实现结构/感知一体化制造，对被测结构或环境无干扰，它可以直接喷涂在部件表面而不影响设备内部环境，用于测量航空发动机、燃气轮机、内燃机、石油化工设备内部高温区域部件的表面温度、应变、热流量等。

制造工艺往往影响材料的致密度、晶体结构等，使材料特性发生一定程度的变化，最终影响薄膜传感器的性能。传统制造工艺一般采用磁控溅射的方法生成薄膜传感器的各个材料层，当所需测温部件或结构为曲面时，掩模版制作则更加困难。如在航空发动机引擎运行中监测和获取叶片的实时温度，即需要在曲面叶片上制造薄膜热电偶传感器。而传统的平面光刻工艺则很难应用于柔性曲面器件。因此，研究曲面图形化转移技术并应用于制作曲面薄膜传感器，对推动航空发动机等领域的发展具有重大意义。