发行时间：2023年10月

本报告调研了薄膜传感器及其在航空领域应用的技术背景、政策环境和市场情况，结合微米纳米加工技术全国重点实验室需求，检索、分析了薄膜传感器领域截至2023年8月12 日公开的 47,490 件专利，涵盖上游工艺端（包括薄膜工艺、薄膜材料体系、图案化工艺和高温工艺）、中游产品端（薄膜压力传感器、薄膜气体传感器、薄膜温度传感器、薄膜应变传感器、薄膜多功能传感器、薄膜流量传感器和薄膜热流传感器）和下游应用端（医疗健康领域、汽车领域、可穿戴设备领域和航空航天领域）共十五个技术分支；检索、分析了航空发动机高温薄膜传感器领域截至10 月8 日公开的2,899件专利（数据来源：incoPat），涵盖上游工艺端（包括薄膜工艺、薄膜材料体系、图案化工艺和高温工艺）、中游产品端（薄膜压力传感器、薄膜气体传感器、薄膜温度传感器、薄膜应变传感器、薄膜多功能传感器、薄膜流量传感器和薄膜热流传感器）和下游应用端（航空航天领域）共十二个技术分支；同时检索、分析了薄膜传感器领域论文数据37,918篇，航空发动机高温薄膜传感器领域论文数据 2,121 篇（数据来源：Scopus）。展示了薄膜传感器领域全球专利的技术发展趋势、研发布局流向、市场竞争主体和论文研究热点；薄膜传感器领域中国专利的技术发展趋势、市场技术壁垒、创新集聚省市、市场竞争主体和专利实施情况；航空发动机高温薄膜传感器领域的技术发展趋势、研发布局流向、市场竞争主体、主要创新人才、论文研究热点、专利实施情况、领域重点专利、NASA专利布局等，以供实验室参考。在此基础上，分析比较了航空发动机高温薄膜传感器领域主要竞争主体西安交通大学、电子科技大学、中北大学、上海交通大学、中国电子科技集团公司第四十八研究所的专利表现，研究实验室与不同高校院所的表现差异，明确实验室的发展定位。